空氣濕度高會對半導體無塵車間造成什么傷害？

開始病原菌會不斷發育，從而降低無塵車間的潔凈室水平:我們知道病原菌和其他外來物種(黃曲霉、病毒感染、病原菌、滿蟲)可以在空氣相對濕度超過百分之60的地理環境中活動繁殖。有些腸道益生菌在空氣相對濕度超過百分之30時可以增加。當空氣濕度在百分之40~60之間時，病原菌的危害和上呼吸道感染至少可以減少。

其次，高空氣相對濕度會導致生產線設備腐蝕，縮短使用壽命。雖然許多工業設備的外殼是由非金屬材料制成的，如塑料或不銹鋼板芯，但許多部件仍然是由銅或不銹鋼板等金屬高分子材料制成的。在高低溫地形下，零件容易生銹，從而縮短工業設備的使用壽命。

再一次控制空氣相對濕度，可以為員工提供舒服的辦公環境，空氣濕度在百分之40~60范圍內。過高的空氣相對濕度讓人感到煩悶，而過高的空氣相對濕度低于百分之30則會讓人感到干燥、皮膚開裂、呼吸道不適和情緒緩慢。

之后，產品會潮濕，導致產品質量下降。半導體采用其單側導電能力。一旦潮濕，就會變成電導體，容易出現短路故障，損害產品特性。而且空氣相對濕度的增加會繼續損害半導體輔助材料的其他特性。以半導體光刻工藝為例。實驗證明，光刻工藝的粘度會隨著空氣相對濕度的增加而迅速降低。

因此說半導體無塵車間盡量做好控濕工作，要準確保證半導體的生產加工規范，就要盡量采用專業的除濕機械設備進行防潮除濕。